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真空用潤滑剤
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商品名 |
説 明 |
データ表 |
真空ポンプ油 |
真空ポンプ油は、圧力範囲:大気圧〜10‐3Torr の中真空領域を油回転ポンプで、また圧力範囲:10‐3〜10‐10Torr の高真空領域を拡散ポンプで行います。・・・
2009年1月更新 |
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フッ素系真空ポンプ油 |
真空ポンプ油は、圧力範囲:大気圧〜10‐3Torr の中真空領域を油回転ポンプで、また圧力範囲:10‐3〜10‐10Torr の高真空領域を拡散ポンプで行います。・・・
2009年1月更新 |
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真空機器用グリース |
一般的に、クリーンルームにはフッ素系グリースが使用されます。・・・
2009年1月更新 |
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